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当前标签：埃米级精准控厚 查看全部
ALD技术沉积精度可达＜1nm，台阶覆盖率＞95%，适用于半导体芯片级防护。
需结合器件结构、工作电压与环境湿度综合评估；Parylene 常见厚度 2–25μm，ALD 可达纳米级。建议提供图纸后由工程师给出试制方案。
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