绿色工艺 低能耗沉积技术 采用低温ALD工艺和节能UV固化系统,相比传统工艺降低能耗30%以上 优化ALD反应温度,降低能源消耗 使用LED UV固化系统,提升能效 智能化生产管理,减少资源浪费 清洁能源使用比例达到40%