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Parylene沉积有哪些特点?
  • 高分子膜的聚合生长 –单分子的生长模式
  • 无固化应力–无膨胀/收缩及变形
  • 非液相过程–无流挂及边角效应
  • 高度同形性 –底面、内表面、边缘及侧面均匀涂层
  • 无催化剂–高纯度、无溶剂助剂无放气现象

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